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X射線不能直接測(cè)量，在測(cè)量前必須把它轉(zhuǎn)化為可測(cè)量的量，有照相法和電信號(hào)法兩種X射線檢測(cè)技術(shù)。照相法是把X射線的方位和強(qiáng)度轉(zhuǎn)換成照片面積上相應(yīng)位置的黑度，然后進(jìn)行直接測(cè)量，或輔以測(cè)微光度等儀器對(duì)低頻進(jìn)行測(cè)量。這種方法是最早使用的檢測(cè)、記錄X射線的方法，現(xiàn)在還是一種常用的基本手段。電信號(hào)法也是通過適當(dāng)?shù)臋z測(cè)器或技術(shù)，把X射線轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，然后通過一套電子學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量記錄。這類檢測(cè)技術(shù)包括兩個(gè)方面：檢測(cè)器(或技術(shù))及與之配套使用的電子學(xué)訊號(hào)分析、測(cè)量記錄系統(tǒng)。
閃爍計(jì)數(shù)器：是利用X射線激發(fā)某些固體物質(zhì)，發(fā)射可見熒光并通過光電倍增管放大的計(jì)數(shù)器。閃爍計(jì)數(shù)管基本上由三部分組成：閃爍體、光電倍增管和前置放大器。四圓單晶衍射儀和多晶衍射儀都用這樣類似的系統(tǒng)來測(cè)量衍射線的強(qiáng)度。

主要的X射線分析儀器有單晶X射線衍射儀(主要用于晶體結(jié)構(gòu)的確定)和多晶X射線衍射儀(又稱粉末X衍射儀，主要應(yīng)用在物相分析、晶體結(jié)構(gòu)分析、組構(gòu)分析)。物相分析是X射線衍射在金屬中用得最多的方面，分定性分析和定量分析。前者把對(duì)材料測(cè)得的點(diǎn)陣平面間距及衍射強(qiáng)度與標(biāo)準(zhǔn)物相的衍射數(shù)據(jù)相比較，確定材料中存在的物相;后者則根據(jù)衍射花樣的強(qiáng)度，確定材料中各相的含量。在研究性能和各相含量的關(guān)系和檢查材料的成分配比及隨后的處理規(guī)程是否合理等方面都得到廣泛應(yīng)用。

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